渦輪分子泵主要(yào)由泵(bèng)體、帶(dài)葉片的(de)轉子(即(jí)動葉輪)、靜葉輪和驅動系(xì)統等(děng)組成(chéng)。動(dòng)葉輪外緣的線速度高(gāo)達氣體分子熱運動的速(sù)度(一般為(wéi)150~400米/秒)。單個(gè)葉輪(lún)的(de)壓縮(suō)比(bǐ)很小(xiǎo),上海(hǎi)金慶安霸科技有限公司渦輪(lún)分子(zǐ)泵要(yào)由十多個(gè)動葉輪和(hé)靜葉輪(lún)組(zǔ)成。動(dòng)葉輪(lún)和靜葉(yè)輪(lún)交替(tì)排列(liè)。動、靜葉輪幾何尺寸(cùn)基本相同,但葉片(piàn)傾斜角(jiǎo)相反(fǎn)。圖2為20個動(dòng)葉輪組成的整體式(shì)轉子。
每(měi)兩(liǎng)個動葉輪之間裝一(yī)個靜葉輪(lún)。靜葉輪外(wài)緣用環固(gù)定并使(shǐ)動(dòng)、靜葉(yè)輪間保持1毫米(mǐ)左右(yòu)的(de)間隙,西(xī)安分公(gōng)司動葉(yè)輪可在靜葉輪間自由旋(xuán)轉。